二手 VARIAN / GENUS 1520 #293642980 待售
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VARIAN/GENUS 1520離子植入器和監控器是將離子植入半導體材料的先進系統。它能夠精確控制離子的輸送，使不同的植入物能量、種類、批量大小和劑量率得以使用。GENUS 1520還具有完全自動化選項，允許多個植入物以最小的操作員參與進行。該系統提供極精確的劑量控制，允許高度可重復的植入劑量。這使用戶能夠生產具有一致結果的植入物，從而降低了對矽基板造成昂貴顆粒損傷的風險。VARIAN 1520配備了最新的監控和處理軟件，使其成為高級離子植入的綜合工具。1520利用了基於射頻的高功率、高電壓的GENUS Rexolite和SHI Thalium靶標。這允許高電流傳遞和高基材摻雜率與最小化熱損傷。離子源組件向目標提供離子，由一對提取電極、一個源和一個掃描線圈組成。掃描線圈用於植入物的剖面分析，可進行優化以實現高度定位的植入物剖面。VARIAN/GENUS 1520還具有一系列離子選擇（隔離）選項，如質量分析、電荷剝離和多種植入物。質量分析選項允許選擇要植入的特定離子種類，而電荷剝離選項可用於減少受汙染的底物摻雜。多物種植入選項允許在植入兩個或更多物種時提高準確性和可重復性。GENUS 1520是創建復雜、高質量微電子器件的強大系統。它具有廣泛的自動化和植入控制能力，是生產優質晶片的寶貴工具。對於希望生產基質損傷最小化的高重復植入物的用戶來說，這是理想的選擇。
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