二手 VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209301 待售

GENUS G1510&G1520 Ion Implanter&Monitor是一種最先進的帶電粒子加速器，用於將離子植入多種材料中。這種高度模塊化、計算機控制的系統既包括離子源，也包括光束監控攝像頭，允許精確控制和精確的離子植入過程。離子源是一種產生各種種類離子的雙質質子源，其中包括​​氙氣、氧氣、磷和矽。該源可實現廣泛的離子能量和光束電流強度，使得G1510&G1520適合各種類型的離子植入，如適應能量的植入或能量擴散植入，允許應用如RF MEMS或雷達敏感的MEMS。光束監控攝像頭可用於檢測和監控離子束，使操作員能夠確認所需的設置，實時監控植入過程。相機還可以提供各種光束參數的反饋，如光束光斑尺寸、光束傳輸和光束錯位。這反過來又可以改進操作員對植入過程的控制，幫助確保達到所需的離子劑量。G1510和G1520系統高度自動化,內置操作員界面可輕松訪問所有設備參數和機器功能。用戶界面還提供警報和監視功能,允許遠程監視和調整系統。此外,內置校準模塊可實現每個源的自動校準,確保每次運行都能準確植入離子。G1510和G1520有開放式和封閉式兩種框架設計，可用於傳統實驗室和OEM應用。此外，這些系統的設計符合各種安全和操作標準，如CE和SEMI 2336。總體而言，VARIAN G1510&G1520離子植入器和監控器是高性能、高度通用的系統，能夠精確地以各種能量註入各種離子。攝像頭和校準模塊等自動化功能的加入進一步提高了其用途，改善了操作員的控制和安全性。其多樣化的應用和廣泛的特點使G1510和G1520成為一種高效、可靠和經濟高效的植入應用解決方案。