二手 VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209306 待售

GENUS G1510和G1520是設計用於半導體制造的高級離子植入器和監測器。它們在植入各種離子植入過程中提供了優異的性能和可靠性。該G1510是一個130 keV的雙離子源植入器和顯示器設計的高通量和可重復摻雜速率。它包括一個無油的陶瓷襯裏真空室，為控制離子汙染提供高水平的真空。寬光束和聚焦光束這兩個離子源提供均勻的能量分布，從而可以更快的循環時間和更好的摻雜物控制。該G1520是一個三源120 keV離子植入器和顯示器，旨在滿足高端半導體應用的需求。其高分辨率光電源提供了選擇性地植入多達三種不同摻雜劑的靈活性。這樣可以優化植入物的劑量和能量。此外，該G1520在各種植入參數上提供了極好的穩定性和準確性，使其成為關鍵摻雜劑應用的理想解決方案。G1510和G1520都具有可選的計算機監控系統,允許用戶管理和記錄計算機上的植入參數。該系統還支持通過安全網絡遠程控制和監控植入過程。除了提供出色的離子植入能力外，G1510和G1520還提供各種工藝選擇，如定制植入窗、雙能量植入、可變時間植入物和delta-dosimetry。這允許用戶根據自己的特定應用需求定制植入過程。G1510和G1520還提供市場上最全面的安全包之一。這兩臺機器都配有安全聯鎖開關，在打開安全蓋時會禁用系統，並符合安全標準EN 291、EN292和EN 60204。總體而言,VARIAN G1510和G1520是先進的離子植入器和顯示器,可為各種半導體制造應用提供卓越的性能和可靠性。