二手 VARIAN / GENUS G1510 #9011839 待售

VARIAN / GENUS G1510
ID: 9011839
晶圓大小: 8"
High energy implanter, 8" Pumps are missing.
VARIAN/GENUS G1510是一種離子植入器和監控器,為離子植入提供突破性的能力。它是一種高端設備,用於生產和監測離子植入過程。GENUS G1510是為提高離子植入吞吐量而設計的,同時保持了準確性和可重復性。它提供了一個精確的光束電流控制設備,準確性和可重復性。該設備還包括用於優化植入過程的高級光束診斷系統。VARIAN G 1510專為低汙染的高通量而設計。它提供三種波束線配置,用於產生低、中、高電流。這允許針對不同的應用實現高度特定的光束。該設備與提供可編程過程控制的GENUS自動化控制和監控單元集成在一起。該機包括用於梁優化的刀具能源管理軟件包。該資產還為全面了解蝕刻過程提供了強大的數據采集和分析模型。VARIAN/GENUS G 1510具有兩個集成的波束線管理系統。第一臺設備指揮和監控光束方向和能量,第二臺設備管理植入物種的加速和充電。這樣可以進行高度精確的植入和監測。該裝置包括一個先進的腔室設計和設計在極端條件下運行。高溫不銹鋼腔室保證了植入過程的安全準確進行。G 1510還提供了全面的植入套件。該套件包括軟件和硬件軟件包,允許自動控制、監視和分析植入過程。該軟件包括易於操作的圖形用戶界面,並包括一項特殊功能,可在流程不合格時自動發出警報。總體而言,GENUS G 1510是一種高度可靠和高效的離子植入器和監控器,具有精確和可重復性。它具有先進的設計功能和自動化的控制和監控功能,是高吞吐量和準確植入的理想選擇。
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