二手 VARIAN SD-700 #9294166 待售
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VARIAN SD-700是一種離子植入器和監控器,專為半導體研究和生產而設計.它基於VARIAN現有SD-600系列系統的高度靈活的平臺,但在研究和生產離子植入方面采用了廣泛的新方法。SD-700采用了一種新開發的離子偏轉器技術,使得各種物種的光束控制和均勻植入在一個通道中,從而確保生產產量和研究精確度達到最大化。該設備還進行了一些改進,以減少總體周期時間和成本。與所有VARIAN系統一樣,VARIAN SD-700的設計著眼於環境。它是一種環保設備,噪音水平最低,排放低。SD-700具有先進的光束掃描和分析能力,使系統能夠準確監測和控制離子劑量。這樣可以確保使用該單元生產的設備質量卓越。為了進一步提高設備的均勻性和縮短加工時間,該機采用了專利DynamX™技術,可以在不影響離子植入物參數的情況下即時調節光束條件。該工具采用模塊化設置,非常適合淺、深、超淺和超深的應用。此外,VARIAN SD-700還具有自動光束快門、機器人晶圓處理和高分辨率掃描控制功能,可實現最大精度。對於無與倫比的柔韌性和對嵌入式通量的控制,資產包括高速氣體過濾模型。簡而言之,SD-700是一種高度先進的離子植入器和監控設備,能夠在半導體行業進行研究和生產。其現代化的平臺,方便的用戶界面和靈活的設計提供了多種選擇,當涉及到確保最高質量的植入物。
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