二手 VARIAN Solion+ #9130269 待售

VARIAN Solion+是為精密控制離子束植入物而設計的最先進的離子植入和監測設備。它由晶片處理器、植入器和監控器、光束操縱系統、RF-DC混合分離器和目標/電子槍組成。晶片處理程序包括一個電動機構，用於在平面和平面外移動多個晶片。植入器包括一個高強度、多模式的離子源、一個精密的聚焦單元，以及各種離子物種植入的廣泛的輔助元件。該監視器包括一臺先進的波束輪廓監視機，具有實時視覺反饋和控制功能。光束操縱工具包括用於位置和能量掃描的強大控制資產，以及用於精確控制植入條件的各種光束操縱元件。RF-DC混合式分離器具有較高的分辨率，可用於正負離子註入，電壓範圍和分離器電壓範圍。目標/電子槍模型允許對所需的離子植入物剖面進行最佳分析。Solion+提供了高度的控制和靈活性，允許用戶為每個獨特的應用定制自己的離子植入條件。可以調整電壓、電流、光束能量、光束光斑大小、光束強度、光束位置等參數，以微調植入物輪廓。設備還提供內置的安全功能,如過壓保護和備用電源,以確保安全運行。總之，VARIAN Solion+是一個強大的離子植入物和監控系統，為精確的植入物調節提供了優越的控制和靈活性。憑借其精密的光束操縱單元、RF-DC混合分離器和目標/電子槍，Solion+提供了廣泛的選項來定制任何應用的植入條件。