二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON 350D #293652051 待售

ID: 293652051
晶圓大小: 6"
Ion implanter, 6".
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON 350D是一種離子植入器和顯示器,設計用於提供半導體的精確植入。它能夠同時進行單離子和多個離子植入階段,使其成為任何生產過程的有力選擇。植入器配有水平晶片處理系統、堅固的掃描角度雙面精密控制、晶片溫度控制、可調高壓參數。此外,TEL 350D還配備了用於劑量控制和均勻性的高性能數字離子束分析儀。VARIAN 350D有一系列可調參數,能夠植入正負離子。它還配備了總共10個通道,以便允許不同材料類型和同位素同時運行。雙面控制采用獨特的C形光束準直儀,提高了掃描角度的精度,並通過可調電壓和電流參數提高了植入劑量的均勻性。TOKYO ELECTRON 350D允許兩到四毫米直徑的短植入,它的多功能性使得它適合植入多種材料,如磷、砷、硼、​​的、和的。350D晶圓處理系統通過其自動集中、對準和掃描功能,有助於確保最高級別的質量控制。此外,晶圓溫度控制允許均勻的表面和提高穩定整個植入過程。數字離子束分析儀提供劑量控制和均勻性以及實時反饋,從而提高精度。最後,VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON 350D配備了業界領先的360°光束覆蓋監測系統,確保了完全可追溯的植入過程,並在完成操作後生成了深入的報告。這種前所未有的控制水平使得TEL 350D成為半導體精密植入的有力選擇。
還沒有評論