二手 VARIAN VIISion 80 #9039543 待售
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已售出
ID: 9039543
High current ion implanter, 6"
Safe Gas Delivery System
Cryo, fourth implant chamber
SECS II automation
Two dimensional beam profiler
Angled implant, automatic
Classic End Station
Includes:
+7 to -7 degree wafer tilt angle.
Plasma flood gun.
Horizontal wafer handling.
Full system automation.
Operator touch screen.
Tungsten Bernas ion source.
Silicon coated disc and spillover cup.
3 light signal tower
Source and beamline turbo pumps removed, but they’re both inside the tool
Controller for the beamline pump is removed, but it’s inside the enclosure
Currently the disk and spindle are removed, but all the parts are present for it
Converted to 150mm in 2011
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80是一款適用於中高電流生產的高性能離子植入器和實時監視器。它能夠將多達80mA的電流植入到細膩的基板中,同時對過程進行準確的在線監測。專家工程確保了低能耗和高電流的可靠和可重復的熟練程度。它被設計為一個全晶體系統,能夠實現穩健的目標優化,以支持各種層次的復雜性。這允許用戶微調生產過程,確保生產力和產品質量之間的完美平衡。此外,植入器還配備了多級監視器,使用戶能夠在處理過程中跟蹤離子範圍、輪廓和光束發射。VIISion 80的特點是有專利的HDG(高清槍),使用超短的內爆時間和目標組織的空間控制。HDG作為高清處理器,將能量、劑量和空間控制結合在一起,提供本質上準確且可重復的劑量。此外,其多種植入物組合使其成為一種經常改變基材要求的通用工具,其可磨損密封技術提高了長期加工過程中的光束穩定性。它的設計光學測量各個方向的離子。然後,利用低角度和高角度信號測量,系統可以在任意角度重建劑量法。這種實時劑量法提供了更高的控制和精度,同時最大限度地減少了調整工藝參數所需的時間。此外,VARIAN VIISion 80還配備了幾個傳感器,用於監視光束電流、粒子軌跡、靜電透鏡和空間電荷。監控系統還具有直觀的圖形界面,因此用戶可以快速選擇設置,並可以訪問易於使用的診斷指南。VIISion 80是醫療、汽車、電子和半導體行業的理想選擇,因為它提供高效的生產和嚴格的質量控制。歸根結底,它有助於降低成本,並為尋求可靠且一致的離子植入器以滿足其生產需求的公司提供安心。
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