二手 VARIAN VIISion 80 #9039557 待售

VARIAN VIISion 80是一種用於半導體和微電子生產的高能、高通量離子植入器。它設計用於必須嚴格和準確地控制離子的植入劑量、能量和流度的應用。VIISion 80使各種材料的離子植入具有各種光束配置，具有極好的均勻性和可重復性。VARIAN VIISion 80利用四極管、平行電子槍和分束陰極裝置，提供高達80kW的離子註入能量。該槍以5-200 kV的中性能量運行，並提供最大15mA束電流。該槍能夠輸送2至254 amu的離子，能量範圍100 keV至最大80kV。離子束光斑大小可配置在0.3-1.0mm之間。該設備具有高容量電源模塊，可提供可靠、可重復和高度精確的植入能力。它還提供了用戶可定制的植入物配置文件，允許優化的離子植入物操作。該系統包括掃描光束電流控制,可實現可重復、均勻的植入效果.VIISion 80還具有獨特的監控單元，允許測量和控制背景電流、腔室性能、光束電流和植入物均勻性。這種監控機器對於確保高精度、可重復的植入操作至關重要。監視器工具提供了許多自我診斷功能,可以提醒操作員註意任何異常或錯誤。最後,VARIAN VIISion 80的設計考慮到安全性,它具有安全互鎖資產,可阻斷對高壓組件的訪問,並具有接地連接,以確保充分的電氣安全。該模型還包含幾個硬件和軟件組件,這些組件旨在確保可靠的操作並降低受傷風險。總之，VIISion 80是一種高度精確的離子植入器，能夠在廣泛的能量範圍內輸送離子，並利用獨特的監測設備來確保可重復、均勻的植入物操作。該系統設計為操作簡單，但高度可靠和安全。VARIAN VIISion 80以其最先進的電源，非常適合半導體和微電子生產。