二手 VARIAN VIISion 80 #9065690 待售
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已售出
ID: 9065690
High current ion implanter, 8"
Enhanced End Station
Includes:
Software version: Ver 5.00.00
Gas box: HP Gas box
Turbo pump:
Ion source (1800A)
E/S: V300HT
(2) Beamline: V1001
Dry pump:
Terminal: Edwards iQDP80
Chamber: iQDP80
Gas bottle #1: Ph3 - SDS
Gas bottle #2: AsH3 - SDS
Gas bottle #3: BF3 - High pressure
Gas bottle #4: Ar - High pressure
W/H: N6
Software: Memory upgrade
LEB Kit: Yes
DISC: Hook site
Cryo pump: (4) 250F CTI
Load lock pump: V300HT
Compressor: CTI 8500
Wafer handler: Enhancement type
Main monitor: LCD
Exhaust box: Duct box
Source head: Bernas
Filter +/- 7ª
Exhaust
Signal tower
Currently de-installed and stored in warehouse
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80是一款高性能的離子植入器和顯示器，旨在為半導體器件的制造提供優越的效果。該設備采用先進的光束系統，提供精確和可重復的劑量控制。VIISion 80能夠以高頻率和高精度將離子植入矽片。它包括多種功能,允許用戶快速調整各種流程的參數。VARIAN VIISion 80是圍繞高分辨率成像單元構建的,該成像單元具有極好的可重復性,能夠達到6 σ精度。成像機具有較高的動態範圍，可在各種應用中實現高度精確的離子束控制。此外，該工具還能夠對各種半導體器件進行廣泛的頻率操作。VIISion 80具有強大而高效的光束傳送資產,可進行多種植入。它可以高速植入離子，精度和可重復性都很好。該模型利用動態範圍的離子能量，以確保適當的離子植入正確的位置。VARIAN VIISion 80包括一個先進的、高度敏感的監測設備，可以準確監測光束和摻雜參數。該系統可以分析植入率、劑量率、束角、晶圓角等數據。監控單元還可以檢測到低級基板損壞，允許用戶對任何關鍵的過程問題快速做出反應。VIISion 80還具有先進的數據處理和分析機器,可實現高精度和控制。它包括高級統計數據分析功能,並允許用戶快速調整各種流程的參數。此外，VARIAN VIISion 80還包括用於計算植入劑量的高級軟件，允許更精確的植入。VIISion 80是成功實現先進半導體電子的強大且經濟高效的解決方案。其高度精確的成像、光束傳遞和監控系統使其能夠提供精密植入物，並有出色的效果。其通用的數據處理和分析工具使其成為任何半導體制造工藝的絕佳選擇。
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