二手 VARIAN VIISion 80 #9108723 待售
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已售出
ID: 9108723
晶圓大小: 8"
High current ion implanter, 8".
VARIAN VIISion 80是一種技術先進的離子植入器和監控設備,旨在提高效率和生產力。它用途廣泛,易於適應多種應用,包括高通量生產、中劑量設備以及規格和產量要求極其嚴格的低劑量設備。該系統的設計允許同時植入和監測,光束電流高達2000微安,能量範圍為12-300keV。該裝置采用高壓發電機和植入式放大器,具有300 kHz的顯著掃描速率,能夠高速、高精度地輸送離子。設計良好的光束快門允許快速啟動和關閉周期,從而減少了調整和操作所需的時間。VIISion 80有一個25級的虛擬質量濾波器,提供精確的能量選擇和各種電荷補償植入物和氣體植入物的輪廓。針對目標精度,該機設計了位置、形狀、電壓、時間變化等幾個參數。精確的光束成像是通過結合半導體相機使用多場光學工具實現的。單柱成像光學器件還可以方便地調整光束路徑,以達到最佳聚焦,並適應不同的晶圓尺寸和表面。VARIAN VIISion 80還提供高級資產監控和診斷。通過測量光束電壓、電流和溫度,模型可以提供植入物輪廓的詳細反饋,必要時進行調整。自動化控制設備可實現對系統的遠程控制,從而提高流程的可擴展性和靈活性。最後,該機包含了多種保護人員和設備的安全特性。總體而言,VIISion 80是一個高度先進和高效的離子植入器和監控單元。它的高性能和精確度在廣泛的應用中不可或缺,從高通量生產到規格極為嚴密的低劑量設備。此外,其先進的監控機器和安全特性使其成為保護人員和設備的理想選擇。
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