二手 VARIAN VIISion 80 #9162800 待售
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已售出
ID: 9162800
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Ion implanter, 8"
L/L Dry pump type: VARIAN Tri scroll pump
Source / Beam line turbo pump:
PFEIFFER TMH1601P
LEYBOLD MEG W1300
L/L Turbo pump: VARIAN V250
Process chamber: (4) CTI 250F Cryopumps
Gas channel 1: AsH3 Gas VCR 1/2" high pressure
Gas channel 2: PH3 Gas VCR 1/2" high pressure
Gas channel 3: Ar Gas CGA580 high pressure, UFC-8160
Gas channel 4: BF3 Gas CGA330 high pressure, UFC-8160
PFG Gas: Xe Gas CGA580 high pressure, UFC-8160
Memory upgrade: Yes
Main CB: 90 Amps
CVCF CB: 50 Amps
Auto disc angle motor: Yes
Host: SECS
Throughput (WPH): N6, 230 WPH
Disc site type hook site: (13) Sites
Elevator type modified 25
Lower slide pin: Yes
Laser align kit: No
W/H align kit: No
Remote pallet: No
Utility supply type: Bottom
Power 208 VAC, 3 Phase, 5 wire, 50/60 Hz, 35 kVA
Water: 40~100 psi
Air: 90~125 psi
PN2: 50~100 psi
GN2: 50~100 psi
Exhaust: 1600 cfm
Missing parts:
(4) Gasbox bushings
Source head assembly
Arc chamber assembly
Vapour end cap plate
Gas line
Dip seal pump
Beamline turbo pump set
Turbo pump
Power cable
Controller
Terminal RDAC board
Analyzer gauss probe
Rotary slit assembly
Remote rack
DI Colling system
PCW Manifold
(2) Cryo compressors
(2) Dry pumps: IQDP 80
Remote rack accesory
End station turbo pump set
Signal tower
External AC filter
Disc assembly
Spin drive assembly
Main drive shaft stand plate
Main drive shaft
Spin magnet assembly
Rotary union
Resolver shaft assembly
Encoder shaft assembly
Main pulley
(2) Resolvers / Encorder pulleys
(2) Belts
Spin magnet guide plate
(8) Plate stand blocks
(2) Spilcover cup cooling bellows
Currently de-installed and warehoused
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates制造的離子植入器和顯示器。VIISion 80是半導體器件制造過程中植入、監測和分析離子的高效可靠工具。VARIAN VIISion 80具有高度先進和直觀的界面,將所有必要的顯示、控制和測量功能組合為一個單元。VIISion 80利用廣泛的傳感器和探測器來精確控制植入和監測離子轟擊過程。這個設備有一個可調的高壓陽極，允許正負離子都植入到高達0.5密耳的深度。它還利用了一個內置的當前監控選項，允許操作員確保其植入過程始終處於他們所期望的控制水平之下。VARIAN VIISion 80允許輕松集成到現有的自動化測試和半導體晶圓廠設備中。這個系統也與其他離子源兼容，例如金屬蒸發或矽烷源，使得它非常適合一個多種用途的植入需求。除了強大的植入功能外,VIISion 80還具有獨特的監控單元,可實時讀取離子電流。這臺機器包括一個超高速寬帶微通道板探測器和一個帶有大型液晶顯示屏的緊湊控制控制臺，為用戶提供了植入過程的全面概述。為了增加安全性和便利性,VARIAN VIISion 80包括一個專用的安全監視器,可在植入過程中通知操作員任何違規情況,如過壓或意外電流激增。該工具還具有可調節的地板級kV顯示器,可單獨校準以確保可重復植入效果。綜上所述，VIISion 80是一種成熟的離子植入器和監控器，旨在為所有半導體器件制造需求提供精確的控制水平和靈活性。VARIAN VIISion 80具有先進的傳感器、直觀的界面和專用的安全監控功能,是一種有效、安全的離子植入和分析工具。
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