二手 VARIAN VIISion 80 #9181390 待售
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ID: 9181390
Ion implanter, 8"
Vacuum pump:
Terminal dry pump type: terminal, Edwards iQDP80
Chamber dry pump type: terminal, Edwards iQDP80
L/L dry pump type: V300HT
Gas system:
Gas / Connection Type
Gas channel #1: AsH3 gas SDS, 3.4L high pressure
Gas channel #2: PH3 gas SDS, 3.4L high pressure
Gas channel #3: Ar gas high pressure, 3.4L high pressure
Gas channel #4: BF3 gas high pressure, 3.4L high pressure
PFG gas: Xe gas CGA580
Utility:
Supply type: bottom
Compressor: CTI 8500
Wafer handler: enhancement type
Main monitor: LCD
Exhaust: duct box
Source head: Bernas
Tilter +/- 7 degrees, signal tower
Missing parts:
L/L chamber turbo pump
Elevator3 digital I/O PCB
(4) Chamber cryo pumps
Disk assy
Source turbo controller
E/S controller CPU boards
Source turbo pump
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80是一種離子植入器和監測器，設計用於生產電離材料和監測離子植入過程。它是一種工具，用於處理從普通半導體材料到先進復合半導體等多種應用所設計的廣泛的摻雜型材。此外,VIISion 80還提供了無與倫比的吞吐率、精度和精確度,以實現最佳的離子植入過程控制.VARIAN VIISion 80由兩個獨立的組件組成：離子束發生器和控制臺。離子束發生器是一種低損耗、高可靠性、低噪聲和低振動的離子源，使離子植入過程極為可靠。這個離子源能夠產生一個近乎連續的離子束，這些離子束足夠穩定，能夠精確控制植入物。控制臺是植入器的指揮控制中心，負責控制、監控和執行植入過程。它由一個直觀的圖形用戶界面（GUI）和可編程邏輯控制器（PLC）組成，使用戶能夠控制植入參數，監控植入過程，並存儲結果以備日後審查。VIISion 80通過最先進的制造技術和精密的儀器為用戶提供了最大的工藝控制。為了保證植入的最高質量和準確性，VARIAN VIISion 80采用了多源技術，提高了光束穩定性和植入劑量的無與倫比的準確性和可重復性。多源技術還提高了源的壽命，提高了整個過程的可靠性。VIISion 80還提供了出色的離子植入選擇性，允許微調摻雜型材，具有廣泛的摻雜制度。這為用戶提供了前所未有的靈活性和對植入過程的控制。VARIAN VIISion 80還能夠輸送最大光束電流高達3.5A的大電流光束。此外，控制臺的接口允許對波束電流和電壓電平進行實時控制。總之，VIISion 80是一種先進的離子植入器和顯示器，旨在提供無與倫比的精度和可重復性的最大的過程控制和準確性。VARIAN VIISion 80提供多源技術和大電流光束輸送等功能,可確保植入過程的最大靈活性和控制。此外,直觀的控制臺界面可以方便的植入控制,監控和審查.
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