二手 VARIAN VIISion 80 #9212872 待售
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已售出
ID: 9212872
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Ion implantation system, 8"
Vacuum pump
EDWARDS iQDP80 Terminal dry pump type
EDWARDS iQDP40+QMB250 Chamber dry pump type
VARIAN tri scroll pump L/L dry pump type
STP1000 Beam line turbopump#1
STP1000 Beam line turbopump#2
VARIAN V250 L/L turbopump
(4) CTI, 250F Process chamber cryopumps
(2) CTI, 9600 Cryopump compressors
Gas system / Gas / MFC Type
Gas channel#1 / AsH3 Gas / SDS
Gas channel#2 / PH3 Gas / SDS
Gas channel#3 / Ar Gas / High pressure
Gas channel#4 / BF3 Gas / High pressure
PFG gas / Xe Gas / High pressure
Memory upgrade
CVCF option
Wafer size: 200mm
Main CB: 90 Amps
CVCF CB: 50 Amps
Auto disc angle motor
Host used, SECS
Source head type: Dual bernas
Faraday system: Magnet bias, PFG
Throughput(WPH): N6
Disc site type: Hook site, 13Sites
Elevator type: Modified 26
Lower slide pin
Laser align kit: No
W/H align kit: No
Utility
Supply type: Bottom
Remote pallet
Power: 208 Vac 3 Phase 5 wire, 50/60Hz, 35 kVA
Water: 40~100psi
Air: 90~125psi
PN2: 50~100psi
GN2: 50~100psi
Exhaust: 1600cfm
1997 vintage.
VARIAN VIISion 80是一種高端離子植入器和監控器，能夠對集成電路和其他半導體器件進行離子植入和監測。它旨在提供更高的精確度和性能，當涉及到植入離子，允許用戶達到精確的摻雜濃度和所需的表面輪廓上模具。VIISion 80的先進技術和直觀的用戶界面使甚至沒有經驗的工作人員能夠立即了解設備，使他們能夠快速改變設置，以適應不同的基板。VARIAN VIISion 80具有一系列令人印象深刻的精確度和安全特性,可提高離子植入的準確性、安全性和效率。離子源提供均勻的高能離子模式，確保每個晶片都有一致的植入物，而自動劑量計則根據需要監測和調整光束強度。VIISion 80還配有兩區光學校準系統，確保基板的精確沖擊。最後,該裝置先進的電子監測機確保了準確的植入.該工具包含許多組件和功能，使其能夠承受離子植入的嚴酷。它能夠將離子傳輸至20keV，光束可擴散至20mm，植入性能不會明顯下降。該資產的石英光學窗是針對極端環境條件而開發的，其真空室壓力範圍巨大。模型中的多盞燈確保均勻照明,而不論晶圓類型和尺寸如何。VARIAN VIISion 80的精密監控設備不斷跟蹤植入過程和狀態,使用戶能夠根據所提供的信息進行更改。該系統還能夠提供廣泛的報告和圖表，以提供對植入過程的詳細分析和審查。作為監控包的一部分，該單元先進的離子計數器實時提供準確數量的植入離子，讓用戶消除猜測和人工計算。總體而言,VIISion 80是一種出色的離子植入器和監視器,它包含許多高級功能,使用戶能夠以大大減少的工藝時間和成本獲得精確和準確的結果。它的直觀界面允許任何級別的專業知識的用戶快速獲得離子植入和設置的手柄，讓經驗豐富的受贈人員及時做出必要的調整。使其成為大型工業半導體應用的理想選擇。
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