二手 VARIAN VIISion 80 #9257909 待售

VARIAN VIISion 80是一種三軸離子植入器和監控設備，設計用於半導體制造中的自動植入過程。它是一個強大的系統，具有現場監測傳感器，用於過度劑量保護和深度控制監測。它設計用於超高劑量，可用於中低電壓植入。VIISion 80具有三軸運動控制單元，最大速度為60 m/min，確保大型烤箱的快速植入時間。該機還具有設計用於中低電壓植入的大功率兩束植入器。電場線由於先進的電場分布和對準設計而最小化，這使得精度更高，劑量不均勻性降低。VARIAN VIISion 80包括業界領先的傳感器和顯示器,用於能力驗證、劑量控制和工具監控。超劑量保護資產（ODPS）檢測光子劑量的差異，防止高劑量植入過程中的過劑量。此外，該模型還具有對光束線的劑量、能量、角度和時間進行精確數字控制的原位監測器，以最大限度地提高植入物的均勻性和劑量均勻性。VIISion 80還具有靈活性和可擴展性,允許集成其他技術組件和植入過程的更改,而無需進行重大的控制修改或重新設計。這使得今後能夠進行升級和適應，以促進不斷變化的技術。VARIAN VIISion 80具有自適應電子槍控制,可優化光束線性能和均勻劑量.該設備還可以針對不同的植入要求進行配置，包括光束控制和真空優化。最後,系統采用用戶定義的參數進行精密設計,並根據客戶的特定需求進行設計。總體而言，VIISion 80是一個三軸離子植入器和監控單元，旨在優化植入過程。它具有高功率雙光束植入器、超劑量保護機、原位監視器以及適應未來升級的能力。該工具專門設計用於過程控制、劑量控制以及快速可靠的植入過程的準確性。