二手 VARIAN VIISta 80 #9203950 待售
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VARIAN VIISta 80是離子植入和監測領域最先進的技術。它是一種高性能的植入器,能夠在各種晶圓和基材上提供卓越的精度和吞吐量。它提供了可靠的離子植入參數,創造出各種半導體結構,作為電子元件的基礎。VIISta 80組件包括可掃描離子源、掃描準直儀、脈沖模式檢測器、激光束剖面儀、傳感器系統、目標磁體和高壓電源。「可掃描離子源」是允許在目標材料上放置不同離子的工具。它可用於創建半導體結構或修改現有結構。掃描準直儀使用聚焦磁場和電場來控制光束大小和形狀,用於精確植入物。脈沖模式檢測器測量從植入材料中流出的中子種群,進而通知植入物參數。它還提供了調整高電壓以獲得最佳能量輸入的數據。Laser Beam Profiler是一種監視植入離子束均勻性的設備。傳感器系統負責檢測基板表面的變化,而目標磁鐵則用於在植入前收集和定位離子。最後,高壓電源為光束掃描提供電壓,並以脈沖或連續模式執行植入操作。它還提供保護,防止任何潛在的植入損害.總體而言,VARIAN VIISta 80提供了可靠、精確的離子植入系統。通過對植入物進行精確的控制,提高了植入物的吞吐量和準確的監測,確保植入物的最高質量是值得信賴的。這種設備能夠制造高性能和經濟高效的電子元件。
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