二手 VARIAN VIISta 80 #9262465 待售

VARIAN VIISta 80是一款先進的離子植入器和監控設備，旨在服務於多個行業，包括微電子和半導體行業。該系統始終以經濟高效的方式產生高度均勻和可靠的離子植入。VIISta 80具有一個四軸、高分辨率的運動控制單元，用於對離子源和底物進行精確和精確的操作。這允許在廣泛的能量範圍之間進行場變化，並允許每個植入物根據特定材料的特殊需要進行定制。例如，低能量植入物非常適合植入4H-SiC，而高能量植入物對半導體有用。VARIAN VIISta 80的離子源是使用Ar/O2或Xe/O2化學的雙陽極機，可以運行到60kHz，提供非常快的吞吐量。該工具的特點是直流電源可以偏向於所需的植入物能量-任何能量都可以達到兩千伏。此外,VIISta 80還具有高精度光束調制功能,使植入物能夠以優異的精度調整到基板的尺寸。VARIAN VIISta 80還配備了流程監控系統，有助於確保植入物的準確性和可重復性。這些包括實時粒子計數、實時物種分析、電腦化控制範圍結束劑量以及實時跟蹤範圍結束劑量。此外,該資產還設計用於執行完整的流程審核和診斷報告,以便能夠快速輕松地進行任何必要的更正。總體而言，VIISta 80是一種先進的離子植入器和監視器模型，以經濟高效的方式始終如一地提供準確、均勻和可靠的植入物。通過在監控系統中利用最新技術，VARIAN VIISta 80在從一般半導體制造到航空航天和汽車零件的廣泛應用中安全可靠地運行。