二手 VARIAN VIISta 810 HP #9051773 待售
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已售出
ID: 9051773
優質的: 2003
Ion implanter
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8" Plastic Miraial
SMIF Interface NO
Power Distribution 208V 60Hz 75KVA 3phase Y-connection
Control System 1GHz Computer
Software Version Number V810hp 06 71 38
Gasbox1 Ar HP external supply
Gasbox2 N/A (SDS)
Gasbox3 ASH3 SDS
Gasbox4 PH3 SDS
Gasbox5 BF3 HP
(6) Cryo pump CTI CT-250F
(3) Cryo Compressor CTI 9600
(2) Ebara A10S Roughing Pumps
(1) Varian triscroll300 Roughing Pump
TMP Edwards STPH301C
TMP2 Edwards STPH803C
TMP3 varian HT-300
TMP4 varian HT-300
Ion Source Dual Filament Bernas type
Dual Vaporizer Nothing
Beam Reducer Nothing
Platen E-CLAMP
Beam Energy:
5-250keV (Signle charged Ion)
250-500keV (Double charged Ion)
500-750keV (Triple charged Ion)
Auto Accel/Decel mode
208 V, 50/60 Hz, 3-Ph, 5-Wires, 35 kVA, 97 FLA
2003 vintage.
VARIAN VIISta 810 HP是一種高性能離子植入器和顯示器，用於各種過程控制和機器工程應用。它是一種先進的設備，設計用於精確監測和控制與離子註入有關的各種過程。它使制造商能夠保持最高的效率和準確性，確保達到期望的效果，而無需犧牲質量或數量。VARIAN VIISTA 810HP是一種高效可靠的離子植入工具，使用戶可以輕松控制各種參數，如植入劑量、光束光斑大小和能量設置。它還具有高級功能,包括使用多進程和內存預設的快速預編程、實時電流容量監控以及可重復結果的過程自動化。VIISta 810 HP還以靈活性和魯棒性著稱，使其能夠被用於多種多樣的應用，包括多種材料的植入和各種底物的純化。VIISTA 810HP還具有出色的光束控制和設備監控功能,使用戶能夠確保優化操作。光束控制允許精確的植入參數，而系統監控能力則提供植入速率、光束角度、電壓、電流等一系列數據。這一綜合單元還包括多種安全功能，使用戶能夠確保最大限度的安全和可靠性。VARIAN VIISta 810 HP是一款高度先進的離子植入器和監視器,提供最高水平的準確性、速度、靈活性和安全性。它專為廣泛的機器工程和過程控制應用而設計，在任何操作中都能提供可靠的結果。它具有多種過程分辨率、高效的監控和先進的機器控制功能,使其成為任何環境下的理想解決方案。
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