二手 VARIAN VIISta 810 HP #9093342 待售

VARIAN VIISta 810 HP是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.開發的高性能離子植入器和監控設備。該機器的設計滿足了最先進的半導體制造工藝的要求，在離子的植入過程中具有更高的精度和性能。該系統采用混合結構，結合了高壓直流電離子源裝置和集成晶圓重構裝置。重構器有助於確保植入離子的恒定質量，並允許精確控制植入晶圓的離子劑量。離子源裝置還包括源和植入物區域的屏蔽，允許可靠、安全的操作。VARIAN VIISTA 810HP有一個大的、易於閱讀的數字顯示屏，提供基本信息，包括植入物劑量和種類、壓力、操作參數和單位狀態。它還具有自動校準功能，有助於優化植入精度，並確保不斷監測晶圓中離子的分布，並保持在指定的公差範圍內。該機包括高效離子束發生器、基板支撐的直流離子源、高壓、強大的離子束源等多種離子源。光束源可以顯著提高精度和分辨率,以及比以前更高的劑量和更低的光束損耗。該工具還具有一套功能強大的資產級別診斷工具。其中包括允許分析和顯示多個光束光學參數的集成光束光學數據模型,以及用於識別和隔離系統操作故障的故障檢測和隔離（FDI）設備。診斷結果存儲在安全的數字存儲器中,以供將來參考,並為機器維護和開發提供有價值的數據。VIISta 810 HP是市場上最先進的離子植入解決方案之一，提供了精度、性能和安全性的組合。通過幫助確保一致、高質量的植入，它有助於最大限度地提高產量和降低成本。它體積小巧，高度可靠和堅固，是現代半導體制造工藝的理想選擇。