二手 VARIAN Viista 810 #193756 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 193756
晶圓大小: 12"
優質的: 2000
Medium current implanter, 12"
Specifications:
VIISTA 810 End Station (includes polished load lock chambers)
Standard power kit
(3) High voltage warning display
Tungsten Bernas gas ion source
Bernas source Dual vaporizer
Standard Gas Box, external inert purge
External Argon (position #1)
SDS BF3 gas card (UY Bottle) (position #2)
SDS Arsenic gas card (JY Bottle) (position #3)
SDS Phosphorus gas card (JY Bottle) (position #4)
Pigtail select
External inter purge gas facility
Minimized Gas mix manifold
Bottle adapters
Rotating Mass slit assembly
Water-cooled CTI 9600 Cryogenic compressors (2 each) onboard
Chiller unit for wafer chuck (R507 refrigerant)
Xenon Gas for PFS flood gun (Lecture bottle)
Scanning faraday
12" Wafer Chuck
Dose Processor Assembly
Dose Controller
Profiler Drive Assembly
VCS Computer system
Plasma Flood Gun Kit
Closed Loop Faraday assembly
Manometer kit, 3 readouts
Spectra RGA Hardware integration
PMS particle monitoring hardware integration
Varian control system software: Rev 03.03.0118
Configuration Software Viista 810 Rev M1 config 503
SECS / GEM communication capable
Cryo Pumps:
(3) CTI 250F for endstation
(1) CTI 250F for beam-line
Roughing Pumps:
(1) Edwards iQDP40 in HV Terminal
(1) Edwards iQDP80/QMB500 for endstation
(1) scroll pump for differential seals
Turbomolecular Pumps: Varian ICE turbo pump kit
V700 on the filter, V300 on the source
Vesda Smoke Alarm System, Model VLC-500 detector
Currently installed
2000 vintage.
VARIAN Vista 810是一種高性能的離子植入器和監控器，用於將離子精確可靠地植入底物。它提供了先進的技術，為廣泛的應用實現離子的最精確和精確的植入。Vista 810采用定制掃描設備,以確保掃描的一致性和準確性,確保卓越的植入質量。Vista 810可以處理廣泛的植入應用。其令人印象深刻的光束均勻性和準確性使其非常適合用於先進的半導體工藝開發或生產。該系統旨在利用其他VARIAN離子植入器技術，包括磁約束離子束、準直離子束和粒子束掃描。Vista 810具有先進的超高壓離子源,可在各種能量下提供多種離子。該源提供了比傳統源更高的植入精度。該單元還包括一個先進的離子束輪廓監測儀，用於測量離子被植入時的位置。該監視器允許快速檢測光束輪廓中的任何失真。Vista 810還支持一系列旨在增強植入過程的其他功能。該機允許實現不同的光束線配置，包括使用可變孔徑和光學元件等附加元素來實現優化實驗。Vista 810還配備了先進的數據收集和分析功能。這有助於準確地表征各種材料的植入物輪廓,從而提高性能。總體而言，Vista 810是一款先進的離子植入器和顯示器，旨在提供卓越的植入精度和均勻性。其多種特性和功能使其非常適合用於高級半導體和生產過程。憑借其先進的掃描工具、高壓離子源以及數據收集和分析功能，Vista 810為廣泛的植入應用提供了可靠的植入和監控。
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