二手 VARIAN Viista 810 #9256809 待售

VARIAN Viista 810是一種離子植入和監控設備，旨在提供半導體制造的高生產率，同時保持產品質量和可靠性。這個系統能夠植入各種各樣的物種，包括砷、硼等。憑借其先進的設計和高功率的功能,Viista 810離子植入器以更低的成本和復雜性提供了卓越的性能。該單元由幾個關鍵部件組成：一個加速室、一個質量分析儀、一個吸塵機和一個光束器。加速室是由不銹鋼製成的真空室，具有強大的電磁體，用以將離子加速至所需的能級。質量分析儀是一種離子光譜儀，用於按質量對離子進行排序，使其能夠以正確的原子比植入。吸塵工具用於保證資產內的恒定壓力和清潔，而光束器則允許操作員控制離子束的形狀、大小和位置。VARIAN先進的離子植入技術旨在提供高生產率，同時保持良好的過程控制。該模型配備了先進的分布式控制體系結構，以實現最佳的生產效率和出色的工藝穩定性。它具有快速的負載鎖定設備和高效的晶圓傳輸系統，以提高生產率。該單元還包括一個最先進的離子束監視器，提供對光束參數的實時監控。VARIAN Viista 810采用模塊化和可擴展的體系結構進行了設計,從而實現了更大的靈活性和成本節約。該機器有多種尺寸,可提供不同級別的吞吐量和處理能力。它具有緊湊的占地面積和流線型的結構，使得安裝和維護變得簡單。Viista 810非常適合用於生產和研發設置,允許用戶在過程參數之間快速切換。通過其先進的監控功能，該工具確保產品質量和可靠性。憑借其低功耗,該資產還通過減少總周期時間和提高產量來節省成本。它是最可靠、成本效益最高的離子植入和監測解決方案之一。