二手 VARIAN Viista 810 #9411062 待售

VARIAN Vista 810是一款高度可靠、先進的離子植入器和顯示器設備,致力於滿足半導體器件制造中的各種工藝要求。它具有完全可定制的解決方案,具有高度的流程靈活性,可滿足特定的客戶要求。在原型設計時,Vista 810有助於快速、可靠地描述和集成復雜的流程,以支持完整的產品鑒定流程。它建立在著名的VARIAN 810型架構之上，經過多年的測試和驗證；其直觀的用戶界面和直觀的圖形工具使其易於操作和維護。Vista 810有兩種類型的離子植入器；傳統的中電流植入器，俗稱直流植入器，先進的高電流植入器，又稱交流植入器。介質電流植入器的標準分辨率為0.1 μ m,可通過可選的圖像校正組件進行修改。獲得專利的磁性隔膜技術支持了精確控制摻雜譜的能力。Vista 810可實現任何植入系統中最高的一流離子均勻性。先進的大電流植入器通過聚焦在大面積的小光束提供最大的靈活性，以植入大基板。它還提供嚴格的過程控制，導致快速循環時間和精確的離子均勻性在整個底物。八區光束單元確保快速準確的光束跟蹤，有效的植入。Vista 810還配備了先進的ADIStab監視器和刺激器,可同時檢測和塑造來自工藝環境的影響。該工具能夠通過精確、時間驅動和能源中立的監測和刺激功能檢測和控制意外的過程變量，提供精確和可靠的過程控制。該資產設計用於半導體制造過程中的精確高效植入，並附帶各種精密操作的工藝、控制和分析工具。該模型還提供過程安全監測，確保保持適當的參數組合，以取得最佳結果。Vista 810是一種可靠的工具,可用於模擬、分析和優化植入過程,同時提供精確而可靠的結果,並提供毫不妥協的可靠性。