二手 VARIAN VIISta 810EHP #9096214 待售

VARIAN VIISta 810EHP是世界上最先進的半導體器件制造工藝的高性能離子植入器和監控器。該810EHP結合了高生產率和精確度以及最新的MEMS、SOI和先進的CMOS技術。該810EHP提供了一個全自動的「閉環植入」設備，允許用戶主動監控和控制植入過程，以提高準確性和生產一致性。該系統能夠快速調節光束能量和劑量，給用戶更大的控制植入特性，如路徑長度，側壁角度，和摻雜輪廓。該810EHP采用復雜、多區域、單磁鐵電源和高效光束掃描儀，提供精確的植入控制。八區掃描儀增加了設備的速度和靈活性。該810EHP還具有先進的實時分析功能，允許操作員在植入操作期間調整束穩定性和劑量。集成的、高分辨率的數字狹縫成像發生器允許操作員在植入過程中監視和控制植入物角度，這對於實現所需的摻雜物輪廓非常重要。該810EHP能夠產生一致、精確和可重復的植入物輪廓，劑量均勻。該810EHP旨在滿足高批量、高速生產的苛刻要求。它具有強大、安靜的冷卻機和重型電源,在高溫和工作周期中具有長期的運行穩定性。810EHP還配備了堅固的11位晶片盒式磁帶，具有可靠的裝卸機構和可調節的盒式磁帶速度，以提高吞吐量。該810EHP是一個高性能的離子植入器和顯示器，提高精度，生產一致性，並控制先進的半導體器件制造工藝。集成的多區域電源和先進的數字狹縫成像發生器提供了精度、穩定性和可重復性。該810EHP專為高容量、高速生產而設計，具有強大、安靜的冷卻工具和重型電源，方便的晶圓盒式磁帶，以及快速的裝卸機制，以提高吞吐量。