二手 VARIAN VIISta 810Xer #9215997 待售
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已售出
ID: 9215997
晶圓大小: 12"
Medium current ion implanter, 12"
Control:
IAN Computer (6A51) E11130730
NCS Computer (6A52) E11083873
VEST Computer (6A69) Old type
Hardware configuration:
Cryo pump:
(4) CTI-320F
CTI-250F
Compressor: (2) IS-1000
TP1: BOC EDWARDS 800 Liters
TP2: BOC EDWARDS 800 Liters
Source dry pump: ESR20N
ES Rough pump: EST100WN
Diff pump: Scroll pump
Source: IHC
Gasbox:
N2 HP 5sccm
BF3 SDS 5sccm
AsH3 SDS 5sccm
PH3 SDS 5sccm
N2 HP 5sccm
N2 HP 5sccm
Facilities:
Main PD: CVCF
Gasbox exhaust
RP2 Exhaust
Chiller NasLab
Roof fans: No
Pfg xenon gas
Di Cart: Near tool control rack
ES:
Elevator: Without brake
Profiler: Rack and pinion
Tilter
BROOKS Buffer robot
LP TAS300 Plus
Maximum energy: 900 KEV.
VARIAN VIISta 810Xer是一種先進的離子植入器和監控設備,它提供了對離子植入過程的出色控制,使用戶能夠輕松創建尖端技術。它設計用於半導體和MEMS制造過程，在離子植入過程中提供高精度和重復性。該系統由先進的離子源供電，具有廣泛的可調參數，包括束電流、能級、光斑大小等參數。這允許用戶輕松調整離子植入過程，以創建滿足其確切要求的技術。此外，它還配備了一個離子探測器，其靈敏度高達10A電流，在監測過程中提供了極好的精確度。該設備具有直觀的用戶界面,使用戶能夠輕松地從單個屏幕監視和控制操作。此外，該機還包括一個實時數據采集工具，使用戶能夠優化植入參數，而無需手動調整參數。而且，它還具有全面的圖形用戶界面，允許用戶在單個屏幕上可視化植入過程。該資產旨在實現最高的效率和可靠性。它具有創新的低壓植入室，具有廣泛的溫度範圍兼容性，允許用戶在廣泛的溫度範圍內進行植入而不會造成性能損失。此外,該模型還提供了全面的設備診斷套件,使用戶能夠快速識別和診斷任何組件故障。VARIAN VIISTA 810 XER是一個頂級的離子植入器和監控系統，提供卓越的準確性和可靠的性能。它具有先進的離子源和集成的監測裝置，是半導體和MEMS制造工藝的理想選擇，為離子植入工藝提供了卓越的控制。
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