二手 VARIAN VIISTa 810XP #9111140 待售

VARIAN VIIISta 810XP離子植入器和監視器是一種功能強大且用途廣泛的混合模式離子植入器,可在單個設備中實現輕型和重型離子植入以及監控功能。適用於矽、絕緣體、復合半導體晶片等多種材料。利用先進的電子偏轉系統，810XP可以精確地向晶片中引入雜質，從而更好地控制其電子和光學特性。該810XP由一個噴射器、數字附件和一個線性加速器組成，能夠將離子束推向最重離子的160keV，較輕離子的路徑更長，直至10MeV。為確保離子到達目標材料，810XP配備了兩個獨立的光束光學系統，可提供易於控制的高功率。VIIISta 810XP的監控單元，其四級質譜儀和電容耦合等離子體源允許在植入過程中精確監測和控制汙染物離子的水平。通過提供有關當地環境的詳細信息，810XP使快速校正能夠準確控制摻雜過程。VARIAN VIIISta 810XP還配備了先進的安全功能，以確保其操作員和環境的安全。它包括緊急停止按鈕、互鎖系統以及帶有自動變暗鏡片的安全眼鏡，以保護眼睛免受潛在的輻射危險。此外，它還有一個實時監測真空室的溫度、壓力和磁場的機器，以確保最佳的過程操作。VIIISta 810XP允許將各種離子植入各種材料中。它允許對材料進行受控摻雜；創造能夠大大提高其性能的電子和光學效果。該810XP用途特別廣泛,功能強大,可用於許多行業和應用。結合先進的安全控制，810XP非常適合精確的離子植入。