二手 VARIAN VIISTa 810XP #9111183 待售

VARIAN VIISTa 810XP是一種用於制造半導體的離子植入器和監測器。它利用離子束有選擇地從晶片表面除去或沈積雜質，以改變其電性能。植入器還提供計量傳感器、診斷系統和慣性測量單位（IMU）。VARIAN VIISTA 810 XP設計用於處理廣泛的操作，包括表面分析、植入和測量活動。810XP的源電源設備能夠在不發生加熱器跳閘的情況下達到30kV、5A和7200Amin,從而實現高能密度和可調節的脈沖寬度。離子源由一個線性離子源、一個離子提取柵格和一個離子光學系統組成，該系統允許離子在晶圓表面上聚焦和掃描。植入器還包括對粒子束進行實時控制的光束監測裝置。VIISTa 810XP可以配備一系列程序，包括植入溫度控制、點、扇區、線和多邊形模式，以及預定路徑，為用戶提供最高的吞吐量和精度。此外，該機器還包含一個薄膜沈積室，能夠在晶片上沈積薄膜。此功能允許用戶為設備調整和層工程添加或清除雜質。要操作VIISTA 810 XP,用戶可以更喜歡使用自己的專有軟件或基於VARIAN WinNT的Windows 2000兼容軟件。該軟件旨在提供植入功能、劑量、能量和範圍的實時圖形顯示,以及存儲以後重復植入所需的精確數據的數據庫。VARIAN VIISTa 810XP是一種高精度的植入器和監視器,適用於各種制造環境。它提供出色的光束控制和精度,以及一系列旨在實現最高吞吐量和精度的功能。離子源產生高功率光束，能夠調節脈沖寬度和能量密度。此外,薄膜沈積室還可以進行精確的層工程和晶圓調諧.基於WinNT的Windows 2000兼容軟件提供實時圖形顯示和存儲植入數據的數據庫。這使得VARIAN VIISTA 810 XP成為任何半導體制造設施的理想補充。