二手 VARIAN VIISTa 810XP #9111187 待售

VARIAN VIISTa 810XP是為各種半導體器件制造工藝而設計的高級離子植入器和顯示器。這種先進的設備能夠處理用於RIB（剃刀邊緣離子植入器梁）和AVS-Ion（霧化真空噴嘴離子）應用的單管和雙管配置。它能夠實現高劑量率、臨界精度和無與倫比的吞吐量。它還配備了一個智能光束控制系統，精確設置光束電流以精確匹配要求。VARIAN VIISTA 810 XP具有許多獨特的功能,使其成為各種不同應用程序的理想解決方案。它的離子源在超高真空（UHV）環境下運作，這使得它可以達到很高的分辨率。對於矽、硼化矽、硼、砷、磷和霓虹燈等多種不同的物種來說，它的來源會加速離子到30至140 keV的高能量和功率。它具有良好的機械設計，創造了一個低氣體塵埃室，這也有助於降低功率損耗和光束散射。VIISTa 810XP還具有配置控制子系統,可用於保持高度的過程控制和光束質量。這個單元由一個真空機控制器組成，可以連接到多個主機系統，以及一個提供實時數據分析和預定義報告的集成報告生成器。此外,該工具還具有一系列警報和診斷功能,包括預測和糾正維護功能。VIISTA 810 XP也可以配置為執行修剪和深度分析過程。它配備了多區域源，可以根據用戶定義的參數進行植入、範圍調整和同時分析。該資產還具有高度精確的射手和能量控制模塊，使植入操作變得容易。最後，它的低噪聲、低能量放大器保證了光束功率的精確調節而不會產生可聽見的噪聲。總體而言，VARIAN VIISTa 810XP是一種非常先進的離子植入器和監控器，提供非常穩定的過程和優秀的光束質量。它非常適合廣泛的半導體加工和制造應用。它易於配置,並具有監控和維護高度流程控制所需的工具。