二手 VARIAN VIISta HCP+ #293650710 待售

VARIAN VIISta HCP+是一款高容量的生產離子植入器和顯示器，旨在滿足當今集成電路行業的需求。VIISta HCP+采用緊湊的低真空線性加速器設計,非常適合大容量設備生產。它被設計為提供一流的過程控制，與先進的監測和控制系統，使植入緊密間隔和可變深度植入。HCP+設備由燈絲、離子源和離子放大器組件、三極加速系統以及監控器組成。單個均勻能量束由離子源產生，然後由三個電極放大加速，電壓可調節至範圍內的任何能量。監控機使操作員能夠在非常精細的程度上精確預測和控制植入物的能量，同時還提供診斷能力，確保完整的過程控制和可重復性。可變光束控制允許用戶優化光束電流和光斑尺寸以滿足其工藝需求。VARIAN HCP+是一個用途特別廣泛的平臺，可用於晶圓蝕刻、離子植入甚至納米外科。它具有遠光束電流，寬圓頂能量（產生各種深度的植入物），並且可以控制多個通電植入物的光束掃描模式。HCP+的設計目的是支持生產先進的IC，其先進的監測和控制工具使其能夠準確地生產出大批量、一致的均勻植入物。此資產提供了無與倫比的靈活性,允許用戶快速調整植入指令並實時監控性能。它是一系列IC生產過程的理想選擇,並提供無與倫比的成本與性能比,非常適合註重成本的高批量生產環境。