二手 VARIAN VIISta MC80 #9282294 待售

VARIAN VIISta MC80是來自VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.的離子植入器和離子監測器。（VSEI）。該設備設計用於半導體和MEMS組件的植入和監測。該系統利用80kV串聯加速器創建高能量的離子束。這束離子束被加速器的多個靜電透鏡聚焦，由多個偏轉器操縱成所需的光束大小和形狀。設備由允許設置和監視單個組件參數的用戶界面控制。VIISta MC80配備了一系列光束電流監視器，記錄矩形和圓形光束的光束電流、光束形狀和大小以及光斑大小。這允許精確控制梁的參數,並提高植入元件時的精度。此外,機器還包含各種安全措施,例如光束限制器,以確保不會損壞組件。VARIAN VIISta MC80可用於植入各種材料，從硼和砷到磷和矽。而且，結合適當的計算機程序使用光束電流監視器的範圍，既可以準確控制植入材料的類型，也可以精確控制所需劑量。此外，該工具可以實時監控植入物的狀態，並在出現問題之前檢測到任何問題。VIISta MC80能夠使用自動晶圓傳輸機制以高吞吐量工作,這意味著它可以每小時處理多達200個晶圓。由於可以在植入物室內實現空氣清潔度，它的汙染水平很低，這意味著它導致正在加工的部件的產量很高。VARIAN VIISta MC80是一項可靠的資產,能夠持續提供高質量的結果。它提供了廣泛的選項，以適應不同的使用，使其適合植入一系列的組件和材料。該模型便於用戶使用，能夠長時間運行，沒有任何問題或幹預。它是半導體和MEMS工業中使用的植入物的創建和監控的絕佳選擇。