二手 VARIAN VIISta PLAD #293804201 待售

VARIAN VIISta PLAD是一種離子植入器和顯示器，設計用於半導體制造和研究的專業用途。這種高端裝置提供了無與倫比的離子植入控制和精確度，同時也為植入後過程控制提供了優越的分析工具。該裝置的離子植入器部分是一個壓力控制的離子束源，使用等離子體二極管產生高能離子，這些離子被偏轉並加速進入基板。它可以精確地將各種離子註入包括磷、硼、砷、移植物在內的底物材料中。使用提供實時狀態監控的圖形用戶界面創建離子植入過程的系統定義。此外，多用途診斷系統允許在植入過程中對離子束進行原位分析以及植入後監測。系統的監控部分具有模式識別識別硬件和軟件,用戶可以快速分析過程步驟穩定性並檢測任何異常和不穩定。這有助於優化和重現離子植入過程。此外，離子誘導端點測量（IIePM）等工藝監測技術能夠提高離子植入產量，提高工藝穩定性。VIISta PLAD帶有用戶友好的圖形顯示,設計既可靠又耐用。它采用先進的技術和最先進的部件，保證了卓越的質量和長壽命。此外,該設備還提供各種可選軟件包,允許用戶添加自定義功能。為了增加安全性，該設備還具有過壓關閉和防菌過濾器等各種安全功能。總之，VARIAN VIISta PLAD是一種先進、可靠的離子植入器和監控器，提供卓越的精度、控制和可靠性。該設備為用戶提供了無與倫比的精確度和對整個離子註入過程的控制，同時還提供了詳細的過程優化報告。