二手 VARIAN VIISta PLAD #9284877 待售

VARIAN VIISta PLAD是一種離子植入器和監控器，設計用於半導體晶圓加工中提供先進的摻雜控制。在半導體制造中，離子註入是將各種元素的離子戰略性地放入基材中，產生復雜半導體器件制造所必需的不同電導率水平的必要步驟。VIISta PLAD是一種全自動設備，能夠在單個模塊中同時進行離子註入和監測。該系統提供精確、可重復、準確和經濟高效的結果,同時提供最大4英寸（100毫米）的負載大小,以滿足通用的生產需求。VIISta的最大光束能量接近1 MeV,能夠在各種基材和晶片中植入復雜、高可靠性的設備。此外,VARIAN VIISta PLAD提供了廣泛的可用設置和功能,允許用戶根據特定要求自定義植入過程。該單元由基於PC的開放式平臺控制機器提供動力，便於實現專用算法。VIISta還具有高級數據采集功能,以確保獲得最佳結果。該工具提供了從1nA到5mA的光束電流選擇,最大劑量率超過1 x 1013 離子/cm2/min。VIISta的整個工作區域被一條剛性的六邊形梁線所包圍，該梁線提供了防止真空泄漏的最佳保護。集成真空資產在工作區域內循環清潔、過濾的空氣，以減少加工過程中的雜質水平。這有助於在摻雜不同的基材和晶片時提供一致、可靠的結果。VIISta還配備了高級離子源封裝。這包括用於產生離子的微波源和大量可供選擇的氣體。離子源模塊為每次植入操作提供光束電流、形狀和光斑大小的可編程控制。VIISta PLAD是一種先進的、具有高度適應性的植入和監測模型,它提供了比其他可用系統更大的劑量均勻性和改進的過程控制。它提供了自動參數化功能,確保了最佳的工藝表征,以及各種各樣的可自定義選項,使其成為高級半導體晶圓處理的理想選擇。