二手 VARIAN VIISta #9191531 待售

VARIAN VIISta是由VARIAN Semiconductor制造的高性能離子植入器和顯示器。這種用戶友好的設備旨在提供最大的吞吐量和均勻的植入物。利用先進的光束成像技術和高功率離子加速度，為廣泛的電子和光電應用提供精確、可重復的植入物。該系統采用多光束視頻圖像監視器（BIM）,用戶可以查看各種變量,如光束均勻性、劑量率、角度、計數器等。此監視器可直接查看光束線,用戶可以根據需要快速進行調整以確保準確性和可重復性。還提供了一種強大的光束匹配特性，進一步優化了植入過程的均勻性和準確性。VIISta支持多種晶圓和基材尺寸，並對多種材料具有兩種氣體壓力和可調壓力。植入器利用一個專有的冷卻單元來確保光束在植入過程中保持穩定。真空功能也可提供，這允許用戶訪問「隱藏」植入物，提高材料利用率，優化植入精度。VARIAN VIISta是為無限制的可擴展性而設計的，允許用戶在廣泛的範圍內擴展光束能量和劑量。它還支持幾種不同的植入方法，包括離子植入、離子轟擊、離子濺射和源浸入。最後,VIISta具有廣泛的安全功能,例如內置冗余機、自動關閉和輻射屏蔽。這些特點保證了植入器的可靠、安全運行。總之，VARIAN VIISta是一種先進的離子植入器和監控器，旨在提供精確、可重復的、具有最佳通量和均勻性的植入物。該工具具有多光束視頻圖像監視器（BIM）和各種材料的可調氣體壓力,是光電和電子生產的理想選擇。此外，安全特性的多樣性增加了其可靠性和可用性，使其成為現代生產環境的絕佳選擇。