二手VARIOUS(離子植入機及螢幕)待售
離子註入是半導體工業中廣泛使用的一種將雜質引入矽晶片以改變其電性能的工藝。離子植入器是使用電磁場將離子加速和引導到晶圓表面的精密機器。它們對植入的劑量、能量、角度和深度提供精確的控制，從而產生高度準確和可重復的結果。各廠商生產不同規格和特點的離子植入器。這類制造商的例子包括Applied Materials、Axcelis Technologies和Varian Semiconductor Equipment Associates。這些制造商提供了廣泛的類似物和模型來滿足不同的客戶需求。不同離子植入器的優點因其設計和功能而異。共同的優勢包括高吞吐量、優秀的光束質量、靈活的參數控制以及先進的監控設備。監測系統是離子植入物的重要組成部分，因為它們確保過程的穩定性和質量控制。這些單元包括等離子體監視器、波束電流監視器和晶圓溫度監視器。Varian Semiconductor Equipment Associates開發的Lot of Implanters （LOI）就是一個監控系統的例子。LOI監視光束強度和角度,檢測任何差異,並自動校正和校準光束。另一個例子是Applied Materials開發的Lot of Ion Implanters（LOI2），其重點是監測和優化植入過程，以提高植入的完整性和質量。總體而言，離子植入器及其監測機器通過提供精確的控制和確保離子植入過程的準確性和效率，在半導體制造中起著至關重要的作用。
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