二手 BALZERS / BPS Cyberite #9363567 待售

ID: 9363567
晶圓大小: 5"
優質的: 1999
Ion Beam Deposition (IBD) system, 5" (2) Chambers (6) Targets BROOKS Robot cluster handling CTI-CRYOGENIC On-Board pumps 1999 vintage.
BALZERS/BPS Cyber​​ite是一種離子銑削設備,用於將微結構制造成表面。它是一種強大的納米加工工具,能夠對金屬、陶瓷和聚合物材料進行蝕刻。該系統基於一個真空室,兩端各放置兩個大電子槍,中間有一個等離子源。陰極噴槍產生一個離子束,它掃描整個樣品表面,使能量以離子的形式從樣品材料中釋放出來。等離子體源進一步加速並引導離子束,允許對表面進行受控的修改。離子束還產生樣品表面的物理蝕刻,這是通過向腔室中添加氣體來輔助的,並通過設備的計算機界面進行控制。樣品安裝在安裝臂上,該臂可以調整以精確定位樣品相對於離子束的位置。該機能夠以50 nm/min至5 μ m/min的銑削速率進行離子銑削,可用於創建最小寬度為0.5 nm的特征。BPS Cyber​​ ite與精密視覺工具集成在一起,用於對離子束正在修改的表面進行實時成像。此成像資產專為低壓操作而設計,可檢測到0.1 nm以下的特征大小。此特征對於特征的定量成像特別有用,可用於評估離子銑削工藝的有效性。該型號還配備了用於裝卸樣品的自動化樣品運輸設備。這一運輸系統由若幹傳送帶組成,這些傳送帶可將樣品從實驗室轉移到離子束室,也可去除銑削樣品。這種傳輸單元也被用於在研磨階段和外部分析機器之間穿梭樣品,例如掃描電子顯微鏡。為確保安全和清潔的工作環境,BALZERS Cyber​​ite擁有一個集成的氣體減排工具。該資產包括空氣凈化和電離系統,以確保離子束腔及其周圍環境不受任何有毒氣體的影響。這使得離子銑削過程能夠在安全和受控的環境中進行。總體而言,Cyber​​ite是一種具有多種功能的高級離子銑削模型。它可用於創建復雜的納米結構,可用於制造最小特征尺寸為0.5 nm的曲面。其自動化的運輸設備加上視覺系統,使其成為研究和工程應用的理想選擇。
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