二手 BODONG IBE-200J #293827290 待售
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BODONG IBE-200J是一種尖端的離子銑削設備,設計用於半導體制造、光學、微電子、先進材料研究等領域的精密材料去除和表面改性應用。離子銑削,又稱離子束蝕刻或離子束銑削,是制造先進器件和材料的關鍵工藝,與傳統蝕刻技術相比,具有更好的控制和精度。IBE-200J的核心是一個高能離子束源,它加速離子以精確和控制的目標材料。該系統具有用途廣泛的離子源,可以產生廣泛的離子種類,包括氙氣、氧氣、氮氣和稀有氣體,允許量身定制的離子束特性,以適應多樣的材料加工要求。BODONG IBE-200J具有高度穩定的離子束電流和能量控制,可確保大面積的均勻材料去除和表面圖樣,從而實現基板的高通量加工。該單元配備了先進的離子光學器件,包括靜電和磁性透鏡,對離子束進行聚焦和成形,以實現高分辨率圖樣和亞微米特征尺寸。離子束可以通過精確的定位控制在樣品表面上進行柵格處理,從而為設備制造和研究應用提供復雜的圖樣和選擇性材料去除。此外,該機還具有對光束電流、能量和掃描速度等離子束參數的實時監測和控制功能,以優化不同材料的加工條件和期望的結果。IBE-200J提供了一系列處理模式和策略,以滿足各種材料加工需求。對於材料去除和薄膜沈積應用,該工具可以在濺射模式下運行,高能離子轟擊表面,通過物理氣相沈積去除材料或制造薄膜。在圖樣模式下,離子束用於精密的材料蝕刻和光刻,使亞微米圖樣和基板上的特征定義成為可能。該資產的設計易於使用和靈活,具有一個方便用戶的界面,用於編程處理配方、定義離子束參數和實時監控過程進度。BODONG IBE-200J還配備了安全功能和聯鎖裝置,以確保操作過程中的操作員保護和型號完整性。此外,設備還可與額外的加工室、鎖載系統和現場表征工具集成在一起,以實現先進的材料加工和分析能力。綜上所述,IBE-200J離子銑削系統代表了在半導體制造、光學、微電子、先進材料研究等領域進行精密材料加工和表面改性應用的最先進的解決方案。利用先進的離子束技術、通用的處理模式和直觀的操作,該設備為要求高分辨率圖樣、選擇性材料去除和薄膜沈積在多種基材上的苛刻應用提供了無與倫比的控制和精度。
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