二手 COMMONWEALTH SCIENTIFIC / VEECO N2000 #9044878 待售
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英聯邦科學/VEECO N2000離子銑削設備是為高速處理各種材料而設計的最先進的系統。其精密的設計使離子可以研磨各種材料,包括半導體、聚合物、金屬、塑料和光學材料。該單元基於閉環蝕刻室和30 keV離子源。它具有雙離子源構型,使得能夠同時使用氙(Ga)和氙(Ar)離子作為源。Ga源非常適合在多種材料中蝕刻電介質,而Ar源更適合於蝕刻金屬、半導體和多晶膜。此外,離子源具有可調的光束電流,可以微調銑削參數以優化加工。VEECO N2000支持單個基板蝕刻,同時支持最多8種基板的並行加工.它也有一個集成的自動化基板計量機器,監測關鍵基板參數原位。這允許對整個蝕刻過程進行過程監視和優化。英聯邦科學N2000還配備了綜合氣體輸送工具。這一資產包括三個獨立的氣線以及兩個戰略位置的射頻和直流等離子體源。這意味著N2000可用於高精度的銑削和清潔表面。最後,COMMONWEALTH SCIENTIFIC/VEECO N2000附有真空沈積模型,允許各種材料沈積。這包括金屬、氧化物、氮化物和碳基薄膜。這些薄膜可以在150攝氏度以下的溫度下沈積,從而對薄膜的性能進行微調,以便進行最佳處理。總體而言,VEECO N2000是一種高度先進的設備,能夠以最高精度處理各種材料。其集成的自動化計量系統、雙離子源配置以及廣泛的沈積能力使其成為任何工業或商業應用的高度可靠和可擴展的單元。
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