二手 FEI Accura 800 / 986 #9192766 待售
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FEI Accura 800/986離子銑削系統是一種功能強大、用途廣泛、用途廣泛的設備,旨在利用多種材料產生亞微米特性。該系統與空氣或真空兼容，具有廣泛的光束能量和劑量變量。它在6個不同的取向角度具有高達6毫米2的采樣能力，具有很高的精度和廣泛的應用。FEI Accura有一個獨特的離子銑削室，背面有氣體電離源，正面有濺射槍。濺射槍設計有四個噴嘴，允許變化角度的濺射來微調過程。它連接到數字數據處理器，能夠設置準確的參數並實時監控過程。離子銑削工藝能夠以高分辨率加工亞微米特征。它的工作原理是使氣體電離，並將氣體離子送入銑削室內。這個腔室裝滿了要銑削的目標材料。氣體離子與材料相互作用，濺去高分辨率特征。FEI Accura能夠在幹式和濕式處理模式下工作。在幹法加工中，氣體離子向目標材料加速，產生高分辨率的特征，而沒有額外的液體。在濕處理模式下，氣體離子與液體電解質結合，進一步支持高度精細的加工操作。FEI Accura被設計為以高精度執行快速處理。它可以用來產生精確的納米特性，低至0.15 nm，以及低至0.25微米的圖案化特徵。它提供50到500 keV的可變光束能量,以提供更高質量的加工,而不會損壞細膩的基板。FEI Accura是廣泛應用的有效工具。該系統用於微加工、精細樣品制備、X射線衍射樣品制備、樣品表征、微蝕刻、納米圖案、亞微米加工。它是眾多尋求高精度加工、快速加工、卓越質量成果的研究實驗室和企業的絕佳選擇。
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