二手 FEI DualBeam 820 #9215632 待售
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ID: 9215632
Focused Ion Beam (FIB) system
FEG Source electron column
Pre-lens ion column
Stage and loadlock, 8"
(2) Gas injectors
PC.
FEI DualBeam 820是為材料表面的高性能準備而設計的先進離子銑削設備。該系統能夠對各種材料表面進行精確的離子銑削,包括脆性、難以加工的表面,如陶瓷、金屬合金和玻璃。DualBeam 820利用Ga成像和廣範圍離子束沈積實現了納米尺度的銑削特征。這樣可以在處理細膩曲面時進行緊密、精確的燒蝕。該裝置采用固定基板支架，以確保在銑削過程中對材料表面的可靠處理。支架能夠旋轉，以便於離子束和鉸接級的導航，以確保精確的功能。這種先進的支架設計可確保即使在處理精細樣品時也能獲得高精度的銑削結果。機器還被封閉在真空室中，以盡量減少運行過程中碎片膨脹和環境汙染的影響。FEI DualBeam 820是為數不多的可同時用於平面和輪廓銑削操作的高級離子銑削系統之一。對於平面銑削,精確的3軸電動級允許均勻燒蝕和精確的速度調整。輪廓銑削功能允許控制離子束以形成復雜的特征和深度。此外,還可以使用獨立的梁偏轉刀具來滿足不同類型的銑削需求。DualBeam 820有兩個獨立操作的離子束源，分別用於Ga成像和廣範圍離子束沈積。這允許對不同的銑削操作進行精確的控制和優化。Ga成像資產能夠捕獲細膩表面和特征的地形,以檢測任何損壞或汙染。離子束使高精度燒蝕過程能夠在材料表面上產生復雜的特征。FEI DualBeam 820可以與許多不同的材料一起使用，包括金屬、玻璃、陶瓷和復合材料。它還提供了一整套銑削工藝控制和監控功能,以進行全面的工藝驗證和監控。此外,FEI提供的高級軟件套件使監控銑削活動變得更加容易,從而獲得更加定制的銑削體驗。總體而言,DualBeam 820是一種先進的離子銑削模型,旨在對材料表面進行精確銑削。設備封裝在真空室中，包括文具基板支架、精確的3軸級、具有獨立操作梁的梁偏轉系統，以及綜合銑削和監控的綜合軟件套件。該單元能夠高效地以極高的精度和速度創建復雜的特征。
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