二手 FEI Expida 1255 #9197127 待售

FEI Expida 1255是針對高級離子蝕刻應用優化的離子銑削設備。它具有液氮冷卻樣品階段，允許樣品被低溫照射的高速率圖樣。該系統能夠實現很高的離子銑削速率以及很高的重復性和準確性。它是超精密蝕刻需要的理想選擇，如基板的納米結構化、電路制造和圖樣化以及精密器件制造。Expida 1255對樣品采用高能離子加速單元，允許對其進行機械加工和/或蝕刻。它的可編程超閃光源可以提供一系列快速、強大的銑削脈沖。這臺機器可以提供精確的脈沖、形狀和軌跡控制，以及調整劑量率輪廓。此外，該工具還配備了用於蝕刻基板的低壓氙氣的調節供應。FEI Expida 1255具有五軸旋轉和交叉軸定位模塊。此模塊可確保光束路徑到基板進行蝕刻的精度。此外，該資產還包括一個樣品真空夾緊模型和一個樣品支架，用於對機械應力和應變的良好原位響應。其他特點包括內置液氮以及用於冷卻基板的溫度控制水套。世博會1255設計用於與大多數標準晶片加工工具兼容，如物理氣相沈積和化學氣相沈積設備。直觀的圖形用戶界面（GUI）為操作員提供了對蝕刻過程的完全控制。定制食譜也可以很容易地創建和存儲以備將來使用。該設備安全、可靠，而且需要極少的維護，因此非常適合工業和實驗室使用。FEI Expida 1255是一個可靠的、高度可定制且功能強大的離子銑削系統,適用於各種應用。從光刻到設備制造，該設備可以通過其先進的功能和直觀的用戶界面來滿足各種需求。此外,廣泛的性能參數使機器成為精密應用的理想選擇,這些應用要求非常高的精度和極高的分辨率下的可重復性。