二手 FEI Expida #9284884 待售

FEI Expida
製造商
FEI
模型
Expida
ID: 9284884
晶圓大小: 12"
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" Dual beam.
FEI Expida是一款最先進的離子銑削設備,專為曲面的超精確成形而設計。利用銑削技術實現亞納米尺度精度的表面層水平和垂直帶狀。離子銑削通過在工件上驅動帶電離子並將其收獲以改變工件的材料來進行。Expida使用聚焦離子束(FIB)和專用級來精確定位工件,然後應用其專有的離子銑削技術。FIB是一種類似電子槍的裝置,產生穩定的離子束,可以精確地指向工件表面。光束聚焦到幾百納米寬,由計算機控制的電磁體引導。這樣可以根據應用程序的需要調整銑削精度。FEI Expida的舞臺是一個機械平臺,以三軸支撐和移動工件。X、Y和Z軸的平移範圍高達35毫米,精密比例分辨率為10 nm。舞臺設有減振控制和高分辨率光學器件,用於精確觀察樣品表面。它還具有兩級過濾的高真空系統,防止外部汙染物進入機組,損壞工件。Expida具有直觀的用戶界面,可讓用戶控制銑削過程的各個方面。Fein接口(FEI Skin)提供了一種為各種應用程序配置計算機參數的交互式方法。這包括選擇離子銑削技術、調整銑削條件以及實時監控銑削過程。FEI Expida是研究人員和行業專業人員的理想工具,他們需要可靠、可重復且超精確的方法來制造高性能組件。這是由於其可靠的硬件、準確的控制資產和直觀的用戶界面。這種組合使用戶可以剃掉具有最佳表面結構和完整性的出色可重復性的單個納米。
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