二手 FEI ExSolve 2 WTP EFEM #9293813 待售

FEI ExSolve 2 WTP EFEM
ID: 9293813
晶圓大小: 12"
優質的: 2017
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" 2017 vintage.
FEI ExSolve 2 WTP EFEM是一種適合高端用戶的離子銑削設備。它以最高精度提供連續的納米縮放表面處理。該系統配備了先進的高真空技術,可讓用戶有效疏散空氣分子,營造高效銑削環境。此功能還有助於防止在離子銑削過程中樣品表面受到任何汙染。該單元非常適合先進材料研究、半導體工藝工程、表面分析和MEMS制造等應用。該機配備了集成的自動對焦按鈕,幫助用戶在掃描和銑削材料時實現亞微米精度的光滑、精確的表面形態。ExSolve 2 WTP EFEM包括一個電子光柱,為用戶提供最佳分辨率和焦點深度。該工具具有高速自動掃描功能,允許在低地球軌道上進行超精確成像。此外,集成到資產中的高精度濺射清洗和電阻目標系統還提供了額外的銑削能力,甚至可以應用於最復雜的設備結構。先進的濺射沈積模型還帶有廣泛的沈積和銑削選項,包括磁控管濺射、線性、平面和圓形濺射以及基板光束蝕刻。FEI ExSolve 2 WTP EFEM還具有高分辨率分析檢測器,能夠對材料結構進行高效分析和解釋。這些探測器可以測量廣泛的參數,包括粒徑和數量、元素組成和電導率。此外,此設備還能夠通過高速銑削實現高吞吐量,因此用戶在應用極其精細或復雜的工藝時具有更大的靈活性。該系統具有溫度校準和控制功能,允許進行與溫度相關的銑削。最後,該單元提供了針對特定應用程序的多種預編程配方,使流程自動化更加輕松,周轉時間也更快。
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