二手 FEI Helios 1200AT AFL #293600559 待售

ID: 293600559
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" 2013 vintage.
FEI Helios 1200AT AFL是一種先進的離子銑削系統,用於去除各種表面的薄膜。此工具是FEI Helios系列的一部分,提供了精確和速度的獨特組合。Helios 1200AT AFL具有許多重要的好處,包括能夠在低離子能量的情況下實現非常高的薄膜去除率。它還提供了對厚度在0.1nm至2,000nm之間的薄膜進行高度精確的銑削,並提高了工藝的可控性,直至達到埃水平。此外,該工具還提高了生產效率並優化了大型流程窗口。FEI Helios 1200AT AFL是基於單個高分辨率電子柱。此列能夠檢測和聚焦功能強大的低能離子,使其非常適合用於超薄膜和高分辨率銑削應用。此刀具中使用的離子源是可調孔徑類型,它能夠調整孔徑大小和精度以實現最佳控制銑削。反過來,這也允許對膠片進行刻畫和操作,直至達到埃的水平。為了提高材料選擇性,Helios 1200AT AFL包括可變範圍的光束能量,範圍從10 keV到500 keV,使其成為實現最高質量銑削的強大工具。FEI Helios 1200AT AFL針對各種基材的材料性能進行了優化,同時也提供了最大的可用性。該系統配有自動對準系統,一旦校準,無需經常進行手動光學調整。最後,Helios 1200AT AFL配備了易於使用的用戶界面和移動軟件。這為優化和控制流程提供了強大的控制機制,以及用於數據收集、分析和管理的安全協議。
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