二手 FEI Helios NanoLab 1200HP #9250534 待售
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已售出
ID: 9250534
晶圓大小: 12"
Focused Ion Beam (FIB) system, 12"
Electron column:
Elster column, field emission gun
Beam voltage:
SEM: 350 V - 30 kV
Ion column:
Tomahawk, Ga liquid metal
1,500 Hours
FIB: 500 V - 30 kV
FIB Current: 1 pA - 65 Na
Image resolution:
SEM:
Visual resolution < 1.4 nm at 1 kV / 11 pA Mode ll WD 1.0 mm
Visual resolution < 1.0 nm at 15 kV / 11 pA Mode ll WD 4-5 mm
FIB:
Visual resolution < 4.0 nm at 30kV / 1.1 pA
5-Axes motorized stage (Tilt eucentric)
Load 8" / 12" wafer
Detectors:
TLD Detector
ICE Detector
STEM I Detector
OmniProbe 200 Plucker
Gas injection system:
Platinum deposition
IDEP lll Deposition.
FEI Helios NanoLab 1200HP是一種創新的離子銑削設備,為納米級精密銑削提供了一系列先進的功能。該系統采用了雙束設計,同時采用了離子源和電子源。這提供了獨特的切割和結構化體驗,使用戶能夠在短短幾分鐘內創建小至30 nm的特征和曲面。這使得FEI Helios非常適合生產3D MEMS/NEMS元件和設備。該單元包括一個自動化的樣機、可調銑削參數以及專門為優化操作而設計的用戶界面。直觀的用戶界面使用戶可以快速設置銑削參數、觀察進度和即時調整參數。此刀具允許對銑削條件進行動態控制,從而為正在加工的每個零件提供完美的參數。此外,該資產包括多個源和槍的配置,以及一個高精度,閉環運動模型,以最大化吞吐量。先進的真空環境允許在密封環境中進行有效的機器操作,從而最大程度地減少汙染。該腔室充滿了稀有氣體-典型的氙-提供損害保護和提高銑削速率.設備還包括用於改進溫度控制的集成冷卻系統。最後,提供了多種氣體進料,使設備能夠更好地優化銑削工藝。Helios NanoLab提供了一系列功能,旨在提高其精度和生產率。其三軸閉環運動機確保了零件的精確定位,其先進的運動控制器使高頻移動成為可能。智能自動調諧功能使用戶能夠輕松找到每個加工部件的最佳銑削參數,最後,該工具提供了增強的安全功能,如防震硬軸和噪聲抑制系統,以最大程度地降低損壞或身體傷害的風險。Helios NanoLab是生產微米和亞微米結構的理想選擇。其先進的設計可實現快速的銑削時間和卓越的精度。用戶友好的界面和一系列高級功能使其非常適合電子、醫療、航空航天和半導體等多種行業的應用。無論是加工薄膜元件、MEMS設備還是超高精度元件,Helios NanoLab 1200HP都提供可靠、精確的加工。
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