二手 FEI Helios NanoLab 450S #293754850 待售
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FEI Helios NanoLab 450S是下一代離子銑削設備,專為在具有挑戰性的基板上制造超小型特性而設計。該系統的核心是Helios高分辨率離子柱,銑削分辨率為10nm,能夠使用高電流離子將精度降低到10nm。它非常適合在復雜材料上制造特征，如高長寬比結構、接觸孔、溝槽、線條和空腔。該裝置有一個自動化的負載鎖和真空泵機，使它能夠維持長期運行時間和避免汙染。四個主軸中的每一個都配有自適應光學器件，允許用戶調整銑削光束，以產生功耗最小的高度精確銑削特征。此外，內部氣體密封工具提供了最大的安全性和保護基板在銑削過程中。有效光束能量範圍為50eV 30keV,能量穩定性在1%以內.集成的電動x-y級使樣品在基板上精確對準，樣品面積為150 x 150 mm。最後，該資產具有交互式圖形用戶界面，允許從外部計算機完全控制模型。總之，Helios NanoLab 450S是一種強大可靠的離子銑削設備，能夠在具有挑戰性的基板上產生精確的特征。它的先進功能包括高分辨率離子柱、自動負載鎖定和真空泵送系統、自適應光學器件、集成氣體密封裝置、50eV 30keV的有效光束能量範圍以及交互式圖形用戶界面。這臺機器非常適合為各種應用尋找可靠和精確離子銑削的實驗室和行業,包括接觸孔、溝槽、管線和空腔。
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