二手 FEI / MICRION 2500 #9294116 待售
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FEI/MICRION 2500是一種離子銑削設備,其工作原理是將材料與一束氙氣或其他惰性離子濺射離開,從而在樣品表面上創建特征。該系統采用雙柱設計，在現有腔室配置和其他備選方案方面具有多功能性，例如樣品加熱、氣體入口/出口、額外的樣品級和其他最大範圍應用的控制。該工具還具有可定制幾何形狀的蝕刻室,包括大樣本的大均勻區域,或高長寬比和線性輪廓的小區域。FEI 2500具有集成強大的雙端口射頻（RF）離子源以及高功率直接或直流偏移RF離子源,均采用主動屏蔽技術。這個單元消除了二次電子發射，對束電流提供了更精確的控制。該機還提供了可變電流控制、光束轉向、聚焦調節和光束半徑控制的一系列選項。MICRION 2500的高真空雙室設計采用了具有監控功能的鎖載工具，具有可靠的長期運行和高端資產穩定性。該工具還具有一系列磁性安全殼系統，以減少電荷累積和減少樣品汙染。2500配備精密控制選項，包括主動橫梁轉向、對準和對焦，以獲得最佳性能和提高濺射速率能力。FEI/MICRION 2500包括操作微波源的綜合過程自動化模型以及可編程蝕刻配方的創建。這與圖形用戶界面和集成網絡相結合,允許對任何級別的用戶進行用戶友好操作。FEI 2500生產的特性尺寸小至5 nm，使其成為具有廣泛應用的強大工具，如薄膜沈積、「幹燥」低介電材料，以及在半導體材料中創造高長寬比特征。所有這些好處結合在一起，使MICRION 2500成為任何需要精確工作的實驗室的重要組成部分。
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