二手 FEI / MICRION 9500 EX #293641374 待售

ID: 293641374
Focused Ion Beam (FIB) system Stage type: 200 mm x 200 mm Loadlock type IBM RISC System, 6000 43P 140 Computer/AIX 4.1.5 MCP Detector I-Gun column type: 5 nm Beam current: 3 pA - 931 pA (50 kV) Depo system: Tungsten TMCTS Gases: O2, H2O, Cl2/Br2, XeF2 Vacuum pump: Turbo molecular pump (2) Mechanical pumps (2) Ion getter pumps.
FEI/MICRION 9500 EX是為樣品制備而設計的先進離子銑削設備。它專門為各種基材提供高精度的表面平面化。適用於濺射、濺射蝕刻、擴展離子銑削和其他材料去除技術等工藝應用。FEI 9500 EX利用數位電腦控制的六軸直線電動機驅動系統,允許電動級和可變交流/直流離子源。雙源交流/直流單元用於創建針對離子銑削應用進行優化的可靠離子束。該機還具有節能操作和先進的離子源設計,可提供自適應光束通量和標稱離子源燈絲操作。MICRION 9500 EX包括一個24位取樣盒、一個數字角測角儀、高速快門和一個樣品旋轉級。9500 EX配備高分辨率光學顯示工具,提供離子銑削工藝的實時視圖。該資產能夠監測基板表面的均勻平面化、晶粒排列和顆粒堆積。FEI/MICRION 9500 EX還具有高分辨率劑量控制模型和針對特定過程的各種可定制掃描參數。軟件和硬件組件為控制離子銑削過程和優化各種材料去除技術的性能提供了一種全面的方法。FEI 9500 EX旨在提供快速、高精度的樣本平面化,並包含一系列自動化和動手操作功能。它還與集成冷卻系統、遠程監控能力、工作流程單元和用戶友好界面等多種設備配件兼容。此外,MICRION 9500 EX還提供了SIMS分析、元素組成分析和X射線衍射分析等一系列先進的分析能力。9500 EX是市場上最先進的離子銑削系統之一。它是在各種基材材料上創建高度詳細的表面的可靠且通用的工具,並提供了優化表面制備過程的一系列綜合功能。
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