二手 FEI / MICRION DB865 #9292680 待售

FEI/MICRION DB865是一種高分辨率離子銑削設備,設計用於對各種材料上的小特征進行精密蝕刻。這類系統非常適合用於電子和半導體制造的研發應用，並已被廣泛應用於醫療植入物、MEMS器件和其他高度敏感的表面等多種應用。FEI DB865單元的主要部件包括全自動機械手、直流電源、氮冷離子槍和真空外殼室。機器的機械手用於控制X、Y、Z和角度方向的樣品。直流電源和氮冷離子槍用於產生用於蝕刻樣品表面的離子束。離子槍裝有靜電聚焦透鏡，用於將離子束對準樣品的局部區域。真空外殼室維持蝕刻所需的真空，還提供高溫加熱/冷卻，以及蝕刻敏感裝置的超高真空（UHV）條件。MICRION DB865工具能夠進行光束彎曲和表面掃描,從而可以一次研磨相對較大面積的樣品。蝕刻的精度由離子槍的焦點大小決定，可以在10到500 nm之間。機械手接受的最大樣本量為180 mm x 90 mm，有限的電源允許蝕刻電流高達1.5 mA。此外，資產可以在不同的氣體壓力下用於不同的蝕刻應用，以及通過去除氧化物進行蝕刻，通過去除合金進行蝕刻。DB865型號配備了離線控制軟件包,允許用戶以圖形方式設置蝕刻參數,以及在過程操作過程中監視和控制設備。此外,遠程監視功能可用於在設備使用時監視系統的運行狀態。總體而言,FEI/MICRION DB865是一種用途廣泛且堅固的離子銑床,非常適合對不同材料上的小表面積進行精密蝕刻。FEI DB865工具具有高精度和廣泛的蝕刻能力,是電子和半導體行業研發應用的寶貴工具。