二手 FEI / MICRION Vectra Vision #9200449 待售

FEI / MICRION Vectra Vision
ID: 9200449
Particle beam system I-Gun type: 5nm Column Beam current: 3pA~931pA (50kV) Depo system: Tungsten Tmcts O2 H2O Cl2 / Br2 XeF2 Vacuum type: Turbomolecular pump (2) Mechanical pumps (2) Ion getter pumps Stage type: OBIC Laser: 200mm x 200mm Loadlock type: Loadlock system PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 150 computer / AIX 4.3 Detector: MCP.
FEI/MICRION Vectra Vision是一種離子銑削設備,設計用於大面積納米磨料加工工藝的各種材料。它結合了高精度銑削、高級自動化和智能過程控制器,以最大限度地提高吞吐量和性能。FEI Vectra Vision提供了許多旨在提高生產力和準確性的功能。MICRION Vectra Vision的主要部件是一套磁懸浮、可編程的銑頭,一個編子式的掩模裝載機,一個運動控制的旋轉壓板,以及一個集成的等離子體源。高精度銑頭能夠處理多種材料,包括金屬、聚合物、無定形材料和半導體。集成的等離子體源允許離子銑削,而無需液前預處理。運動控制旋轉盤提供+/-2.2 µm的表面配準精度和高達16,500 rpm的轉速。最後設計了一種用於快速、準確地將口罩和基板送入和送出磨房的鏟子式口罩裝載機。Vectra Vision還配備了強大的自動化、控制和軟件功能。該系統的TrueView軟件套件旨在監控整個過程,從基板加載和定位到區域選擇和銑削,並經過優化以最大限度地提高生產效率和準確性。此外,FEI/MICRION Vectra Vision的模塊化體系結構和集成的定制控制器可確保在多個銑削周期中獲得可靠、可重復的結果。該單元的模塊化還允許從基本功能擴展到高級功能。最後,FEI Vectra Vision配備了用戶保護的最新安全功能。先進的激光和準直器傳感技術提供實時反饋,確保沒有人員暴露在危險的工作條件下。此外,該機器符合所有適用的安全法規,包括OSHA和ANSI標準。最後,MICRION Vectra Vision是一種先進的離子銑削工具,設計用於大面積的納米磨料加工過程。它結合了高精度銑削、高級自動化和智能過程控制器,以最大限度地提高吞吐量和性能。此外,該資產還配備了強大的安全功能以保護用戶。
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