二手 FEI Strata FIB 205 #9293814 待售
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FEI Strata FIB 205是一種雙光束離子銑削設備,能夠對各種材料進行精確切片和成像。該系統專門設計用於提供先進光刻、電子光譜、納米分析樣品制備、材料表征、故障分析和研究應用的自動化、高精度的橫截面樣品。該單元包括一個離子束、一個聚焦離子束(FIB)柱和一個可選的用於相關成像的高分辨率場發射掃描電子顯微鏡(FESEM)。Strata FIB 205中的離子束源是一種焦點式離子槍,具有高能量的、以移液為基礎的液態金屬離子源。在光束電流高達2.5 mA的情況下,精制的Ga離子束通過通道晶體單色儀傳播,提供一束所需能量和化學成分的離子。這種電子聚焦光束進一步通過靜電口袋透鏡進行精細光束操縱。FIB柱具有用於納米級橫向控制的壓電x-y級和用於樣品精確垂直控制的石英z級。它與三軸自動化級集成在一起,實現了多位置、多層次的定向銑削以及樣品在銑床內的精確定位。對於高分辨率成像,全封閉式隔振臺結合了自動樣品卡盤、滑動密封、低theta檢測器和低背景反向散射檢測器,可在單個平臺上進行SEM成像和EDX分析。FIB柱有兩種自動3D FIB銑削的掃描模式,即反向散射和二次電子成像(SEI)。反向散射模式和SEI模式都得益於聚焦離子束,使微米和納米分別具有銑削精度。FEI Strata FIB 205提供高吞吐量,精度更高,分辨率高達10nm,樣品損壞最小。自動化機器還具有很高的靈活性,使研究人員能夠在不影響性能的情況下從一種材料移動到另一種材料。隨著材料科學和納米技術的迅速突破,這一尖端工具為這些領域的進步做出了重大貢獻。
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