二手 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #293750061 待售

FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是一種先進的蝕刻器/asher設備。1020是為促進等離子體蝕刻以及其他蝕刻和灰化工藝而開發的,它提供了一套使該工藝快速、高效和可靠的功能。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是一種集成設備，將蝕刻/灰化室、等離子體源和射頻發電機結合成一個統一的設計。這允許全自動蝕刻/灰化過程,並具有精確的控制和監控功能。該系統能夠快速實現過程重復性，並為研究和生產應用提供足夠的統一性。1020的蝕刻/灰化室設計有一個雙窗口，以適應正負灰化操作。第一個窗口可用於正蝕刻/灰化過程，而第二個窗口允許進行負蝕刻過程。該過程可以通過窗口視口進行監控,在實驗期間對產品進行目視檢查。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020包括一個陶瓷節氣門，用於精確的氣體輸送控制，提供可調節的壓力範圍。該機組以1.0至20 sccm之間的可調氣體流量運行，並采用數字氣體流量計進行連續流量調整。1020提供了廣泛的等離子體源選項,包括射頻、直流、脈沖直流（HFXE）和脈沖磁控管源（HFE）。射頻發電機能夠提供輸出功率的20kW，允許全功率和過程控制。此外，FISCHIONE INSTRUMENTS 1020還包括診斷和設備保護功能，以確保機器在實驗期間保持安全和運行。1020適用於多種蝕刻和灰化工藝，可集成到更大的生產工具設計中。它提供可靠的生產力、統一性和一致性，使其適合廣泛的工業和研究項目。該設備為等離子體蝕刻和灰化過程提供了完整的解決方案，並確保了可靠和精確的結果。